Process Monitor richtet sich vor allem an Administratoren, die Fehlerquellen oder unerwartetes Verhalten auf Windows-Systemen genauer untersuchen möchten. Das Tool zeichnet Datei-, Registry-, Prozess- und Thread-Aktivitäten in Echtzeit auf und stellt die Ereignisse in einer gemeinsamen Ansicht dar. Umfangreiche Filter helfen dabei, aus der großen Datenmenge gezielt relevante Zugriffe herauszufiltern. Zu einzelnen Vorgängen zeigt Process Monitor unter anderem Prozesspfade, Benutzer- und Sitzungsinformationen, Kommandozeilen sowie Thread-Stacks an.

Hilfreich sind außerdem der integrierte Prozessbaum sowie die Möglichkeit, Aufzeichnungen zu speichern und später erneut auszuwerten. Auch eine Protokollierung während des Systemstarts ist möglich, wenn sich ein Problem erst beim Booten zeigt. Die aktuelle Version 4.1 ergänzt eine eigene IPC-Ereignisklasse und kann dadurch nun auch Aktivitäten über Named Pipes und Mailslots gezielt erfassen. Damit erweitert Microsoft das Werkzeug um einen weiteren Ansatzpunkt für die Fehlersuche bei komplexeren Windows-Problemen.